Xitoy Arc bug'lanish yupqa plyonka uskunalari ishlab chiqaruvchilari yetkazib beruvchilar fabrikasi

Mahsulotga umumiy nuqtai

Sanoat Katodik Ark Bug'lanish tizimi - bu eskirishga chidamli, korroziyaga-bardoshli va past-ishqalanishga chidamli{1}}qattiq qoplamalarni yotqizish uchun mo'ljallangan, ishlab chiqarish darajasidagi fizik bug'lanish (PVD) platformasi. Past-kuchlanishli, yuqori{6}}oqimli elektr yoylarini qo‘llash orqali qattiq katodli nishonlar bir zumda katod nuqtasida bug‘lanadi va ionlashtiriladi va yuqori darajada ionlangan metall plazma hosil qiladi.

ISO 9001 sifat menejmenti standartlari va Idoralar talablariga muvofiqlik direktivalari asosida ishlab chiqilgan va ishlab chiqarilgan ushbu tizim asbob-uskunalar ishlab chiqarish, avtomobil komponentlari va sanoat uskunalari-sektorlarida yuqori samarali qoplama operatsiyalari uchun sozlangan. Standart konfiguratsiyalar izchil plyonka stexiometriyasi va zich mikro tuzilmalarni saqlab turish uchun koʻp-katodli sxemalarni mustaqil magnit maydon boshqaruvi, dasturlashtiriladigan DC/impulsli quvvat manbalari va avtomatlashtirilgan vakuum boshqaruvi bilan birlashtiradi.

Ark bug'lanish yupqa kino tizimi
Sanoat katodik yoyi bug'lanish yupqa plyonka tizimi zich, kuchli yopishgan metall, qotishma va keramika birikmalarining-yuqori tezlikda cho'kishi uchun mo'ljallangan. Qattiq katodli nishonlarda...
ko'proq ko'rish
Arc bug'lanish PVD uskunalari
Sanoat katodli bug'lanish PVD tizimi qattiq katod nishonlarini vakuum muhitida bug'lash uchun past{0}}kuchlanishli, yuqori-oqimli elektr yoylardan foydalanadi. Ushbu mexanizm 80% dan oshiq metall...
ko'proq ko'rish
Vakuumli ark yupqa plyonka tizimi
Sanoat vakuumli ark yupqa plyonka tizimi zich, yuqori darajada yopishgan metall, qotishma va keramika yupqa plyonkalarni joylashtirish uchun katodik yoy bug'lanishidan foydalanadi. Yuqori{1}}oqim,...
ko'proq ko'rish
Katodik yoyi yupqa plyonka uskunalari
Qattiq katod nishonlarini to'liq ionlashtirilgan plazmaga bug'lash uchun mahalliylashtirilgan past kuchlanishli, yuqori-elektr yoylaridan foydalanadigan jismoniy bug'larni joylashtirish (PVD)...
ko'proq ko'rish
Ark bug'lanishini yotqizish uskunasi
Sanoat fizik bug 'cho'ktirish (PVD) platformasi zich, aşınmaya bardoshli va funktsional qattiq qoplamalarni-yuqori tezlikda sintez qilish uchun mo'ljallangan. Qattiq maqsadli yuzalarda...
ko'proq ko'rish
Ark bug'lanish yupqa plyonka uskunalari
Bu katod yoyi bug'lanish tizimi to'liq ionlangan metall plazma hosil qilish uchun past{0}}kuchlanishli, yuqori{1}}oqimli elektr yoyi orqali qattiq katod nishonlarini bug'laydi. Standart termal...
ko'proq ko'rish

Texnik spetsifikatsiyalar

Parametr	Spetsifikatsiya diapazoni / standart konfiguratsiya
Palata o'lchamlari	Diametri: 800 mm - 1800 mm (Sozlash mumkin vertikal/gorizontal sxemalar)
Palata materiali	Ikki devorli SUS304 zanglamaydigan po'latdan-ichki suv sovutish kanallari-
Yakuniy vakuum bosimi	<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups)
Katod konfiguratsiyasi	Elektromagnit boshqaruvli 4 dan 12 gacha to'rtburchaklar / dumaloq yoy manbalari
Ark quvvat manbai	300A - 500Sozlanishi mumkin boʻlgan doimiy oqim, toʻlqin<= 2%
Substratning egilish kuchi	0 dan -1000V gacha sozlanishi, impuls chastotasi 10 kHz - 100 kHz
Isitish tizimi	Radiant isitish moslamasi, maksimal harorat 600 daraja +/- 5 daraja bir xillik
Ish qismini aylantirish	Sayyora yoki ikki{0}}oʻqli aylanish magnit suyuqlik orqali boshqariladi
Boshqarish tizimi	PLC + Industrial PC, retsept-boshqariladigan avtomatlashtirilgan ketma-ketlikni boshqarish
Kommunal talablar	Sovutish suvi: 0,25-0,35 MPa, 20-25 daraja; Quvvat: 380V/480V, 3 fazali, 50/60 Gts

Ark bug'lanish jarayoni

Cho'kma tsikli plyonka yaxlitligini va interfeysga yopishishini kafolatlash uchun qattiq protsessual nazorat ostida ishlaydi:

Evakuatsiya va gazni chiqarish:

Vakuum kamerasi asosiy bosimgacha pompalanadi. Yuzaki uchuvchi moddalarni va qoldiq namlikni yo'qotish uchun substratlar vakuum ostida isitiladi.

Plazma bilan ishlov berish (tozalash):

Metall ionlarini bombardimon qilish (titanium yoki xrom maqsadli manbalardan foydalangan holda) substrat yuzasini atom darajasida tozalaydi, mahalliy oksidlarni olib tashlaydi va interfeysni faollashtiradi.

Reaktiv yotqizish:

Reaktiv gazlar (N2, CH4, O2) metall plazma oqimi (masalan, Ti, Cr, AlTi) bilan reaksiyaga kirishib, TiN, TiAlN yoki CrN kabi birikma plyonkalarni hosil qilish uchun massa oqimini regulyatorlari (MFC) orqali kameraga AOK qilinadi.

Sovutish va shamollatish:

Cho‘kma{0}}sovutish kamerani ventilyatsiya qilishdan va qismlarni olishdan oldin himoya inert gaz atmosferasida sodir bo‘ladi.

Kino materiallari va substratlari

Qo'llab-quvvatlanadigan katod maqsadlari
Titan (Ti) va titanium alyuminiy (TiAl):Standart TiN va yuqori{0}}oksidlanishga-bardoshli TiAlN qoplamalari uchun asosiy materiallar (900 darajagacha oksidlanishga chidamli).

Xrom (Cr):Dekorativ pardozlash va korroziyaga-bardoshli CrN/CrC qatlamlari uchun ishlatiladi.

Zirkonyum (Zr) va titanium kremniy (TiSi):Maxsus dekorativ va haddan tashqari aşınmaya bardoshli nanokompozit-plyonkalar uchun qo'llaniladi.

Mos keladigan substrat materiallari
Yuqori-Tezlik po'lati (HSS):Burama matkaplar, frezalar, plitalar va broshlar.

Sementlangan karbidlar (WC-Co):Indekslanadigan qo'shimchalar, raybalar va shakllantiruvchi qoliplar.

Muhandislik po'latlari va qotishmalari:Avtomobil klapanlari komponentlari, viteslar, zanglamaydigan po'latdan yasalgan sanitariya-texnik vositalar va titaniumli tibbiy implantlar.

Ilovalar va ishlashga ta'siri

Metall kesish asboblari:

TiAlN va AlCrN qoplamalarini karbid qo'shimchalar va uch tegirmonlarga yotqizish, asbobning ishlash muddatini 200% dan 300% gacha uzaytiradi va quruq yuqori{2}}tezlikda ishlov berish imkonini beradi.

Shakllash va shtamplash qoliplari:

Chuqur chizish paytida yopishtiruvchi eskirish, ajralish va ishlov beriladigan qismning yopishishini kamaytirish uchun-zich, past ishqalanishli qoplamalarni qo‘llash, ishlamay qolish vaqtini 40% gacha qisqartiradi.

Avtomobil quvvati:

Chegaradagi ishqalanish koeffitsientini < 0,15 ga kamaytirish va ishqalanish aşınmasını oldini olish uchun piston halqalarini, yonilg'i quyish pinlarini va tirgaklarni qayta ishlash.

Sanoat uskunalari va sanitariya krani:

Qattiq dekorativ PVD qatlamlari (TiN oltin, pushti oltin, qora tsirkonyum) kamida 500 soatlik neytral tuz püskürtme sinovidan (ASTM B117) o'tadi.

Moslashtirish va jarayonni sozlash

Uskunalar sxemalari ishlab chiqarish hajmiga, qismlarning geometriyasiga va zavod maydoniga qarab shkalasi:

Kamera geometriyasi:

Og'ir asboblar uchun vertikal yuklash inshootlari; yuqori quvvatli armatura yuklash uchun-gorizontal partiya konfiguratsiyasi.

Manba integratsiyasi:

Gibrid konfiguratsiyalar katodli yoy manbalarini muvozanatsiz magnetronli püskürtme (RMS) katodlari bilan birlashtirib, silliq, tomchilar{0}siz ko'p qatlamli arxitekturalarni joylashtirish uchun.

Filtrlash tizimlari:

Optik yoki ultra{1}}silliq aniq funksional qoplamalar uchun makro{0}}tomchilarni yo‘q qilish uchun katod kanallariga o‘rnatilgan ixtiyoriy magnit makrozarracha filtrlari (boshqariladigan yoy filtrlari).

Avtomatlashtirish interfeysi:

Integrasiya-robot yuklash qoʻllari va avtomatlashtirilgan boshqariladigan transport vositalari (AGV) toʻplamini tayyorlash uchun tayyor.

Ishlab chiqarish va sifat nazorati

Strukturaviy yaxlitlik:Kamera jismlari geliy massa spektrometrining sızıntı sinovidan o'tadilar.<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.

Elektr xavfsizligi va muvofiqligi:Idoralar va IEC elektr xavfsizligi ko'rsatmalariga qat'iy muvofiq ishlab chiqilgan bo'lib, to'liq izolyatsiya sinovi va favqulodda xavfsizlik blokirovkalari mavjud.

Funktsional ishga tushirish-(FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell indentation HF1-HF2) jo'natilishdan oldin standart sinov kuponlarida tasdiqlangan.

O'rnatish va texnik yordam

Saytni tayyorlash paketi:

Sovutish suvi oqim tezligi, chiqindi ventilyatsiyasi, polning yuk ko‘tarish quvvati va elektr tokining tushishi xususiyatlariga oid keng qamrovli kommunal sxema chizmalari shartnomadan-4 hafta keyin taqdim etiladi.

-Saytda ishga tushirish:

Zavodda{0}}sertifikatlangan texnologik muhandislar mexanik moslashtirish, vakuum oqishini aniqlash, elektr integratsiyasi va mijoz uskunasida dastlabki retseptni sozlash bilan shug‘ullanadi.

Retseptni uzatish jarayoni:

Etkazib berish standart asosiy retseptlar (TiN, TiAlN, CrN) va ichki texnik xizmat ko'rsatish va muhandislik guruhlari uchun operatsion treningni o'z ichiga oladi.

Masofaviy diagnostika yordami:

Parametrlarni masofadan turib bartaraf etish va PLC mantiqiy diagnostikasi uchun xavfsiz sanoat router shlyuzlari bilan jihozlangan tizimlar.

TSS

Savol: Tizim yoy bug'lanishiga xos bo'lgan makrozarrachalar (tomchi) hosil bo'lishini qanday boshqaradi?

Javob: Uskunalar katod yoyi nuqtasini maqsadli sirt bo'ylab tez siljitish uchun sozlanishi magnit maydonni boshqarish bobinlaridan foydalanadi, bu esa yashash vaqtini va tomchilarni chiqarishni kamaytiradi. Ultra{1}}silliq pardozlash talab qilinadigan ilovalar uchun ixtiyoriy filtrlangan yoy modullari substratga yetib borishdan oldin metall plazmani makrozarrachalardan uzoqlashtiradi.

Savol: Standart katod konfiguratsiyasi uchun odatiy maqsadli foydalanish darajasi qanday?

Javob: Standart dumaloq va to'rtburchaklar katodlar magnit maydon profiliga va maqsad qalinligiga qarab 40% dan 55% gacha bo'lgan maqsadli materialdan foydalanish darajasiga erishadi. Maqsadni almashtirish texnik xizmat ko'rsatishning to'xtab qolish vaqtini minimallashtirish uchun tez{3}}qisqich mexanizmlari bilan mexanik himoyalangan.

Savol: Ushbu uskunani mavjud avtomatlashtirilgan ishlab chiqarish liniyasiga birlashtirish mumkinmi?

Javob: Ha. PLC boshqaruv arxitekturasi SECS/GEM aloqa protokollarini va avtomatlashtirilgan oldindan tozalash liniyalari va robotli yuklash xujayralari- bilan integratsiya qilish uchun standart raqamli kiritish-chiqarish qoʻl siqishini qoʻllab-quvvatlaydi.

Savol: Maxsus kamera konfiguratsiyasi uchun standart etkazib berish muddati qancha?

Javob: Standart vertikal partiyali tizimlar moslashtirilgan nasos guruhi spetsifikatsiyalari va elektr ta'minoti tartibiga qarab, chizmani tasdiqlashdan boshlab zavodni qabul qilish sinoviga (FAT) qadar 16 dan 22 haftagacha vaqtni talab qiladi.

Biz{0}}Xitoydagi yetakchi bug‘lanish yupqa plyonka uskunalari ishlab chiqaruvchilari va yetkazib beruvchilaridan biri sifatida tanilganmiz. Agar siz Xitoyda ishlab chiqarilgan maxsus yoy bug'lanish yupqa plyonka uskunasini sotib olmoqchi bo'lsangiz, fabrikamizdan narxlar ro'yxatini olishga xush kelibsiz. Narxlar bo'yicha maslahat olish uchun biz bilan bog'laning.