Xitoy PVD kompozit yupqa plyonka uskunalari ishlab chiqaruvchilari yetkazib beruvchilar fabrikasi

Mahsulotga umumiy nuqtai

PVD kompozit yupqa plyonka uskunasi - bu ko'p qatlamli, qotishma va nanokompozit yupqa plyonkalarni joylashtirish uchun mo'ljallangan sanoat vakuumli cho'kma platformasi. Magnitron purkash va katodik yoy manbalarini bitta vakuum kamerasida birlashtirgan holda, tizim plyonkaning mikro tuzilishini, qoldiq kuchlanishni va interfaal yopishqoqlikni aniq nazorat qilish imkonini beradi. Uzluksiz ishlab chiqarish va ilg'or ilmiy-tadqiqot ishlari uchun qurilgan platforma metall, keramika va polimerli substratlarni o'z ichiga oladi va kengaytiriladigan kamera geometriyalariga ega.

PVD kompozit vakuumli cho'kma uskunalari
Ushbu sanoat PVD kompozit vakuumli cho'kma platformasi bir xil, ko'p qatlamli metall, qotishma yoki dielektrik yupqa plyonkalarni yotqizish uchun bir kamerali muhitga bir nechta joylashtirish...
ko'proq ko'rish
PVD gibrid yupqa plyonkalarni joylashtirish tizimi
PVD gibrid yupqa plyonkalarni joylashtirish tizimi bitta vakuum arxitekturasi doirasida termal bug'lanish, elektron nurlar (e-nur) bug'lanish va RF/DC magnetron purkashini birlashtiradi. Ushbu...
ko'proq ko'rish
PVD ko'p-processing yupqa plyonka uskunalari
PVD koʻp-prosesli yupqa plyonka uskunasi birlashtirilgan vakuum arxitekturasi doirasida bir nechta yupqa plyonkalar ishlab chiqarish texnikasini, jumladan, RF/DC Magnetron püskürtme, termal...
ko'proq ko'rish
PVD kompozit yotqizish uskunasi
Sanoat PVD kompozit cho'kma uskunasi ko'p{0}}komponentli, ko'p{1}}qatlamli va nano{2}}kompozit yupqa-plyonka ishlab chiqarish uchun mo'ljallangan. Tizim plyonka tarkibini, interfeys ravshanligini...
ko'proq ko'rish
PVD kompozit yupqa plyonka tizimi
Magnetronli püskürtme (RF/DC/HiPIMS) va katod yoyi bug'lanishini birlashtirgan-sanoat darajasidagi vakuumli qoplama tizimi. Ishlab chiqarish miqyosida uzluksiz, ko'p qatlamli, qotishma va...
ko'proq ko'rish
PVD kompozit yupqa plyonka uskunalari
PVD kompozit yupqa plyonka uskunasi ko'p qatlamli, qotishma va gradusli yupqa plyonkalarni sintez qilish uchun mo'ljallangan sanoat vakuum platformasidir. Modulli 304L/316L zanglamaydigan...
ko'proq ko'rish

Texnik spetsifikatsiyalar

Parametr	Spetsifikatsiya diapazoni
Yakuniy vakuum bosimi	<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite)
Ish bosimi	0,1 Pa - 5.0 Pa
Substrat harorati	800 darajagacha muhit (Yopiq-PID nazorati ostida)
Depozit manbalari	Sozlanishi: DC/RF magnetronli purkash, impulsli shahar, filtrlangan katodik yoy
Qalinligi bir xilligi	< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier
Palata materiali	304L/316L zanglamaydigan po'latdan, mexanik tuproqli va elektro-parlangan (Ra)<= 0.4 um)
Elektr ta'minoti integratsiyasi	MF generatorlari (10-100 kHz), RF generatorlari (13,56 MGts), impulsli doimiy to'g'ri chiziq
Boshqarish tizimi	Avtomatlashtirilgan retsept ijrosi, blokirovka monitoringi va ommaviy ma'lumotlarni qayd qilish bilan sanoat PLC + IPC

Kompozit yotqizish jarayoni

Tizim magnetronli püskürtme va katod yoy texnologiyalarini birlashtirgan gibrid jismoniy bug 'cho'ktirish arxitekturasidan foydalanadi.

Ko'p-manba sinergiyasi:

Bir nechta katodlarning bir vaqtning o'zida yoki ketma-ket ishlashi plyonkalar to'plami bo'ylab keskin yoki bosqichma-bosqich kompozitsion o'tishlarga imkon beradi.

Ion bilan ishlov berishdan oldingi-tozalash:

RF yoki DC plazma tozalash bosqichlari qoplamani maksimal darajada-substrat yopishishini-ko'paytirish uchun cho'ktirishdan oldin mahalliy oksidlar va sirt ifloslantiruvchi moddalarni olib tashlaydi.

Reaktiv cho'kma nazorati:

Yopiq halqali optik emissiya spektroskopiyasi (OES) barqaror birikma stokiometriyasini saqlab turish va maqsadli zaharlanishning oldini olish uchun reaktiv gaz inyeksiyasini (O2, N2, C2H2) tartibga soladi.

Substratning moyilligi:

Sinxronlashtirilgan impulsli quvvat manbalari o'sib borayotgan plyonkani yuqori energiyali ionlar bilan bombardimon qilib, mikro tuzilmani zichlashtirib, qoldiq bosim kuchlanishini moslashtiradi.

Kino materiallari

Uskunalar moslashtirilgan funktsional talablar uchun maqsadli materiallarning keng spektrini qo'llab-quvvatlaydi:

O'tish metall nitridlari va karbidlari:

TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN aşınma va korroziyaga chidamliligi uchun.

Nanokompozit va ko'p qatlamli tizimlar:

TiSiN, AlTiSiN, haddan tashqari qattiqlik va yuqori{0}}haroratga chidamlilik uchun metall/keramika nanolatalari.

Shaffof o'tkazuvchan oksidlar (TCO):

ITO, AZO, IGZO optoelektronik va fotovoltaik ilovalar uchun.

Sof metallar va qotishmalar:

Ti, Cr, Al, Cu, zanglamaydigan po'lat, NiCr elektr aloqa va diffuziya to'siq qatlamlari uchun.

Ilovalar

Nozik kesish asboblari:

Yuqori termal yuklarda ishlash muddatini uzaytirish uchun-qattiq, past{1}}ishqalanishli qoplamalarni (masalan, TiAlN) karbidli qo‘shimchalar, burg‘ulashlar va{4}}tegirmonlarga yotqizish.

Avtomobil komponentlari:

Porshen halqalari, yonilg‘i quyish qismlari va tishli uzatmalar-kamaytirish va eskirishga-bardoshli plyonkalar.

Optoelektronika va displeylar:

Sensorli panellar va quyosh xujayrasi substratlari uchun past-qarshilik, yuqori-o‘tkazuvchanlik o‘tkazuvchi oksidli qatlamlar.

Tibbiy asboblar:

Jarrohlik asboblari va ortopedik implantlar-biologik mos keluvchi va aşınmaya bardoshli qoplamalar.

Moslashtirish va tizim konfiguratsiyasi

Muhandislik konfiguratsiyasi muayyan ishlab chiqarish ob'ektlarining cheklovlari va jarayon retseptlariga moslashtirilgan:

Kamera o'lchami:

Silindrsimon yoki toʻrtburchaklar kamerali variantlari R&D seriyali tizimlardan (diametri 500 mm) dan yirik{1}}ishlab chiqarish yuklash-toʻplamlari (1000 mm+)gacha.

Nasos to'plamini tanlash:

Kerakli nasos-vaqtlari va gaz yuklash profiliga asoslangan ildiz shamollatgichlar, turbomolekulyar nasoslar va kriogen nasoslar.

Substratni mahkamlash:

Murakkab 3D geometriyalar yoki uzluksiz tarmoqlar uchun moʻljallangan, moslashtirilgan sayyora aylanish bosqichlari, sunʼiy yoʻldoshning 3{1}}eksa aylanishi yoki roll-to-roll modullari.

Avtomatlashtirish darajasi:

Yarim{0}}avtomatlashtirilgan qo‘lda yuk konfiguratsiyasi yoki substratni robotli ishlov berish bilan to‘liq avtomatlashtirilgan vakuumli uzatish tizimlari.

Ishlab chiqarish va sifat nazorati

Oqishni aniqlash:

Har bir vakuum kamerasi < 1 x 10^-10 Pa * m^3 / s chegarasida geliy massa spektrometrining oqish sinovidan o'tadi.

Payvandlash tekshiruvi:

Vakuum{0}}yon choklari TIG usulida payvandlanadi, maydalanadi va sayqallanadi, soʻngra soʻrov boʻyicha rentgen nurlari yoki boʻyoqning penetrant tekshiruvi oʻtkaziladi.

Elektr va xavfsizlik talablariga muvofiqligi:

NFPA 79 yoki CE/IEC standartlariga muvofiq qurilgan boshqaruv panellari, suv oqimi, gaz bosimi va elektr xavfsizligi uchun apparat blokirovkalari mavjud.

Zavodni qabul qilish testi (FAT):

Yetkazib berishdan oldingi test-72-soatlik uzluksiz quruq{3}}velosiped aylanish, vakuum ishlashini tekshirish va mijoz tomonidan belgilangan retseptlar yordamida qoplamani sinovdan o‘tkazishni o‘z ichiga oladi.

O'rnatish va texnik yordam

Saytni tayyorlash bo'yicha ko'rsatmalar:Kompleks ob'ekt talablari hujjati kommunal interfeyslarni (sovutish suvi oqimi/bosimi, elektr yuki, siqilgan havo, chiqindi chiqarish) batafsil tavsifini taqdim etadi.

-Saytda ishga tushirish:Dala xizmati muhandislari mexanik moslashtirish, vakuum oqishini tekshirish, elektr bogʻlash-va dastlabki kalibrlashni amalga oshiradilar.

Retseptni sozlash jarayoni:Maqsadli plyonka qalinligi, kuchlanish va qattiqlik parametrlarini aniqlash uchun-mijoz metallurglari va texnologik muhandislar bilan saytdagi hamkorlik.

Hayotiy tsiklni qo'llab-quvvatlash:Masofaviy diagnostika interfeysi, mahalliylashtirilgan ehtiyot qismlar inventarizatsiyasi va rejalashtirilgan profilaktik xizmat ko'rsatish dasturlari.

PVD Composite Vacuum Deposition Equipment

TSS

Savol: Pompaning asosiy bosimiga- yetib borishi uchun odatdagi ish vaqti qancha?

Javob: Standart yuqori{0}}vakuumli konfiguratsiyalardan (turbomolekulyar yoki kriogen nasoslar ildizlari/aylanuvchi qanotli nasoslar bilan birlashtirilgan) foydalangan holda, kamera hajmi va namlikning gaz chiqarish yukiga qarab 25-40 daqiqa ichida atmosferadan <5,0 x 10^-4 Pa gacha evakuatsiya qilinadi.

Savol: Tizim reaktiv va{0}}reaktiv bo'lmagan chayqash rejimlarini avtomatik ravishda almashtira oladimi?

Javob: Ha. PLC boshqaruv dasturi massiv oqim regulyatorlarini (MFC) va quvvat manbai chiqishlarini dinamik ravishda boshqaradi, bu bitta jarayon siklida metall cho'kishi va reaktiv birikma hosil bo'lishi o'rtasida avtomatlashtirilgan o'tish imkonini beradi.

Savol: Standart sayyora aylanish bosqichi qanday substrat geometriyalarini sig'dira oladi?

Javob: Standart 3 o'qli sayyora moslamasi kesish asboblari va avtomobil klapanlari kabi murakkab 3D komponentlarga ishlov beradi. Maxsus jiglar 400 mm x 400 mm gacha bo'lgan tekis substratlar yoki silindrsimon rulolar uchun ishlab chiqilishi mumkin.

Savol: Katta partiyalarda plyonka qalinligi bir xilligini qanday ta'minlaysiz?

Javob: Bir xillikka optimallashtirilgan katod-substratgacha{1}}masofasi, mahalliylashtirilgan magnit maydon profili simulyatsiyasi va ko'p-o'q sayyora aylanishi orqali erishiladi. Haqiqiy bir xillik FAT davomida guvoh namunasi sinovi orqali tekshiriladi.

Savol: Standart sanoat birligi uchun kommunal talablar qanday?

Javob: Odatda 3 fazali 380V/480V (50/60Hz), sovutilgan sovutish suvi ta'minoti (3-4 barda taxminan 15-20 daraja), pnevmatik klapanlar uchun siqilgan havo (6 bar) va shamollatish uchun toza quruq havo yoki azot talab qiladi. Aniq yuklar quvvat manbai konfiguratsiyasiga qarab farqlanadi.

Biz{0}}Xitoydagi yetakchi pvd kompozit yupqa plyonka uskunalari ishlab chiqaruvchilari va yetkazib beruvchilaridan biri sifatida tanilganmiz. Agar siz Xitoyda ishlab chiqarilgan pvd kompozit yupqa plyonkali moslamalarni sotib olmoqchi bo'lsangiz, fabrikamizdan narxlar ro'yxatini olishga xush kelibsiz. Narxlar bo'yicha maslahat olish uchun biz bilan bog'laning.