Mahsulotga umumiy nuqtai
IAE-Series Ion-Yordamli bug'lanish yupqa plyonka uskunasi bug'ning fizik cho'ktirilishini (PVD) real-vaqtdagi ion nurlarini bombardimon qilish bilan birlashtiradi. Issiqlik yoki elektron nurlar bug'lanishi vaqtida energetik ionlarni substratga-yo'naltirish orqali tizim impulsni kondensatsiyalanuvchi adatomlarga o'tkazadi va o'sib borayotgan plyonkaning mikro tuzilishini o'zgartiradi.
Ushbu kinetik energiya uzatish ustunli bo'shliqlarni yo'q qiladi, namlikning emilishini bostiradi va atrof-muhit namligining o'zgarishiga qarshi sinishi indeksini bloklaydi. Optik va yarimo‘tkazgichli ishlab chiqarish liniyalarida uzluksiz ko‘p{1}}smenali ishlash uchun yaratilgan platforma yuqori aniqlikdagi lazer optikasidan kremniy gofretlarigacha-gi turli substratlarga ishlov beradi.
-
![Ion-Yordamli vakuumli bug'lanish uskunasi]()
Ion-Yordamli vakuumli bug'lanish uskunasiIon-yordamli vakuumli bug'lanish tizimi yuqori-vakuumli termal yoki elektron{2}}bug'lanish manbalarini Kaufman-turi yoki End-Hall ion manbai bilan birlashtiradi. Jismoniy bug 'cho'kishi (PVD)...ko'proq ko'rish -
![Ion-Yordamli yupqa plyonkalarni joylashtirish tizimi]()
Ion-Yordamli yupqa plyonkalarni joylashtirish tizimiIon-Yordamli yupqa plyonkalarni joylashtirish tizimi koʻp{1}}choʻntak elektronlari-nur/termik bugʻlanishni yuqori-mahsulotli End-Hall yoki Kaufman- tipidagi ion manbai bilan birlashtiradi....ko'proq ko'rish -
![Ion nurlari yordamida bug'lanish uskunalari]()
Ion nurlari yordamida bug'lanish uskunalariIBAE tizimi elektron nurlar yoki termal bug'lanishni integratsiyalashgan keng nurli ion manbasi bilan-birlashtiradi. Plyonka o'sishi paytida bir vaqtning o'zida ion bombardimon qilish kinetik...ko'proq ko'rish -
![Ion-Yordamli yupqa plyonkalarni joylashtirish uskunasi]()
Ion-Yordamli yupqa plyonkalarni joylashtirish uskunasiIA-Series Ion-Assisted yupqa plyonka joylashtirish uskunasi elektron nurli termal bug'lanishni Kaufman yoki End-Hall ion manbai bilan birlashtiradi. Cho'kish paytida energetik ion bombardimoni...ko'proq ko'rish -
![Ion-Yordamli bug'lanish yupqa plyonka tizimi]()
Ion-Yordamli bug'lanish yupqa plyonka tizimiIon{0}}Yordamli bug'lanish (IAE) yupqa plyonka tizimi bug'ning fizik cho'ktirilishini (PVD) energetik ion nurlarini bombardimon qilish bilan birlashtiradi. Termik yoki elektron nurli bug'lanish...ko'proq ko'rish -
![Ion{0}}Yordamli bug'lanish yupqa plyonka uskunasi]()
Ion{0}}Yordamli bug'lanish yupqa plyonka uskunasiKo'p{2}}cho'ntak elektron-bug'lanishini energetik ion nurlari manbai bilan birlashtiruvchi sanoat-darajali ion-yordamli bug'lanish (IAE) tizimi (End-Xall yoki Kaufman konfiguratsiyasi)....ko'proq ko'rish
Texnik spetsifikatsiyalar
|
Parametr |
Spetsifikatsiya |
|
Yakuniy bazaviy bosim |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping) |
|
Bug'lanish manbalari |
Ko'p-cho'ntak E- nurli qurol (4 × 15cc dan 40cc gacha) va chidamli issiqlik manbalari |
|
Ion manbai turi |
Gridless End-Hall / Kaufman{1}}turi ion manbai (nur kuchlanishi: 50 – 1500 V, ion oqimi: 0,1 – 3 A) |
|
Film qalinligini nazorat qilish |
Kvarts kristalli mikrobalans (QCM) + Optik monitoring tizimi (OMS), aniqlik ± 0,1 nm |
|
Substratni mahkamlash |
Planetar aylanish moslamasi, gumbaz radiusi substrat geometriyasiga moslashtirilgan |
|
Substratni isitish |
Radiant isitgichlar majmuasi, ± 2 daraja PID bir xilligi bilan 350 gradusgacha |
|
Boshqaruv arxitekturasi |
PLC + Sanoat kompyuteri, avtomatlashtirilgan retsept bajarilishi, SECS/GEM-ga mos keladigan ma'lumotlar jurnali |
Ion-Yordamli yotqizish jarayoni
Bug 'hosil qilish:
Material boshqariladigan cho'kish tezligida (0,1 - 2,0 nm/s) nurli tigel yoki termal qayiqdan bug'lanadi.
01
Momentum uzatish:
Energetik ionlar (Ar⁺, O⁺) E{0}}nur yoki issiqlik manbasidan kelayotgan bugʻ oqimi bilan bir vaqtda substrat yuzasini bombardimon qiladi.
02
Mikro tuzilmani o'zgartirish:
Ion ta'siri odam yuzasining harakatchanligini oshiradi, ustunli don o'sishini oldini oladi va-yaqin zichlikka erishadi (qadoqlash zichligi > 99%).
03
Stokiometriyani tuzatish:
Reaktiv ion yordami (O₂) metall oksidi plyonkalarida (masalan, Ta₂O₅, Nb₂O₅, SiO₂) sub{0}}oksidlarning to'liq oksidlanishini ta'minlaydi va UV-NIR spektridagi yutilish zonalarini yo'q qiladi.
04
Kino materiallari
Oksidlar:
SiO₂, Ta₂O₅, TiO₂, Nb₂O₅, HfO₂ (Optik filtrlar uchun yuqori sinishi indeksi barqarorligi).
Ftoridlar:
MgF₂, LaF₃ (keng polosali AR qoplamalari uchun past sinishi indeksli qatlamlar).
Metallar:
Al, Ag, Au, Ti (Yopishqoq qatlamlar va metall reflektorlar).
Ilovalar
Lazer va nozik optika:
O'tkazuvchan filtrlar, dixroik nometall va lazerdan himoyalovchi qoplamalar yuqori lazerli shikastlanish chegarasi (LIDT)-va termal stress ostida spektral siljishning nolga tengligini talab qiladi.
LiDAR qopqoq oynasi:
Qattiq tashqi ob-havoga chidamli{0}}akslatuvchi (AR) va kirlanishga qarshi-parchalangan yupqa plyonkalar.
Yarimo'tkazgichli qadoqlash:
Namlik{0}}to'siqni inkapsulyatsiya qatlamlari va metall kontaktli prokladkalar past substrat haroratida yotqiziladi.
Biomedikal sensorlar:
Diagnostik mikrofluidik chiplar uchun biomoslashuvchan optik shovqin qoplamalari.
Moslashtirish
Xonalar va ichki sxemalar ishlab chiqarishning o'ziga xos izlari va jarayon talablariga muvofiq ishlab chiqilgan:
Palata o'lchamlari:
R=600 mm R&D birliklaridan R=1200 mm balandlikdagi- ishlab chiqarish tizimlarigacha kengaytirilishi mumkin.
Nasos paketlari:
Gaz yuki talablari asosida Maglev turbomolekulyar nasoslari, kriyopompalar va Roots ventilyator tayanch liniyalari bilan sozlanishi.
Manba integratsiyasi:
Murakkab qotishma va ko'p qatlamli gradient plyonkalar uchun ikki-ion manbasi konfiguratsiyasi yoki birgalikda joylashtirish sozlamalari.
Avtomatlashtirish darajasi:
Avtomatlashtirilgan toza xona substratlarini uzatish tizimlari (EFEM / Vakuum klaster asboblari) bilan integratsiya.
Sifat nazorati
Oqishni aniqlash:
Har bir vakuum kamerasi geliy oqishi{0}}mass-spektrometr yordamida tekshiriladi (oqish tezligi < 1,0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s).
Komponentning kuzatilishi:
Vakuum klapanlari, massa oqimini regulyatorlari (MFC) va malakali Tier-1 sanoat brendlaridan (MKS, Inficon, QQS) olingan quvvat manbalari.
Zavodni qabul qilish testi (FAT):
Yuk tashishdan oldin-baza bosimi, nasos egri chizig‘i, manba barqarorligi va 24-soatlik uzluksiz bo‘sh kamera chidamliligini tasdiqlovchi sinovlarni o‘tkazing.
Metrologik tekshirish:
Namuna tekshiruvi spektrofotometr (o'tkazuvchanlik/aks ettirish) va atom kuch mikroskopiyasi (sirt pürüzlülüğü Ra < 0,5 nm) orqali tasdiqlangan.
O'rnatish va texnik yordam
Saytni tayyorlash bo'yicha qo'llanma:
Yetkazib berishdan oldin taqdim etilgan keng ko'lamli kommunal talablar (sovutish suvi oqimi / bosimi, toza xonada siqilgan havo, quvvat taqsimoti, egzoz shamollatish).
Ishga topshirish:
Dala xizmati muhandislari mexanik yig'ish, vakuumda pishirish-, ion nurlarini kalibrlash va boshlang'ich jarayon retseptini-o'chirish bilan shug'ullanadilar.
Operator tayyorlash:
Muntazam texnik xizmat koʻrsatish, vakuum xavfsizligi, dasturiy taʼminotdan foydalanish va nosozliklarni bartaraf etishni oʻz ichiga olgan{0}}tuziltirilgan treninglar.
Hayotiy tsiklni qo'llab-quvvatlash:
Dasturiy ta'minotdagi nosozliklarni tezda bartaraf etish uchun masofaviy diagnostika interfeysi; 48 soat ichida jo'natiladigan muhim eskirgan buyumlarning mintaqaviy zaxirasi (filamentlar, tigellar, qalqonlar).
TSS
Biz Xitoyda-etakchi ion{1}}bug‘lanish uchun nozik plyonka uskunalari ishlab chiqaruvchilari va yetkazib beruvchilaridan biri sifatida tanilganmiz. Agar siz Xitoyda ishlab chiqarilgan moslashtirilgan ion-yordamli bug'lanish yupqa plyonka uskunasini xarid qilmoqchi bo'lsangiz, fabrikamizdan narxlar ro'yxatini olishga xush kelibsiz. Narxlar bo'yicha maslahat olish uchun biz bilan bog'laning.
