Xitoy Multi-Arc Ion yupqa plyonka uskunalari ishlab chiqaruvchilari yetkazib beruvchilar fabrikasi

Mahsulotga umumiy nuqtai

Aniq komponentlarga qattiq qoplamalar, funktsional plyonkalar va dekorativ PVD qoplamalarni qo'llash uchun mo'ljallangan sanoat multi{0}}ark ionli qoplama uskunasi. Yuqori{2}}oqimli, past kuchlanishli vakuumli kamon zaryadidan foydalanib, tizim qattiq maqsadli materiallarni (Ti, Cr, Al, Zr) bevosita bug'laydi. Reaktiv gazlar (N2, O2, C2H2) bilan birlashganda, u to'g'ridan-to'g'ri metall substratlarga zich o'tish metall nitridlari, karbidlari va oksidlarini sintez qiladi.

Modulli vakuum kamerasi arxitekturasi asosida qurilgan ushbu kalit PVD yechimi turli ishlab chiqarish miqyoslarini-R&D seriyali qayta ishlashdan avtomatlashtirilgan, yuqori{1}}inlayn ishlab chiqarishgacha o‘z ichiga oladi. Tizim doimiy ravishda 24/7 sanoat muhitida yuqori maqsadli foydalanish va past umumiy egalik qiymati (TCO) uchun optimallashtirilgan.

Koʻp-Ark vakuumli choʻktirish uskunasi
Ushbu koʻp{0}}ark vakuumli choʻktirish tizimi metall va metall boʻlmagan-gʻayratlarga zich, yuqori{1}}yopishuvchan qattiq qoplamalarni yotqizish uchun katodik ark ionli qoplama texnologiyasidan...
ko'proq ko'rish
Koʻp-Ark ionlarini joylashtirish tizimi
The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >Qattiq katodli materialning 80%...
ko'proq ko'rish
Multi-Arc PVD yupqa plyonka uskunasi
Industrial Multi{0}}Arc PVD System zich, stexiometrik qattiq qoplamalarni (masalan, TiN, TiAlN, CrN va DLC) metall tagliklarga joylashtirish uchun yuqori-ionlashtiruvchi katodik yoy fizik...
ko'proq ko'rish
Ko'p-ark ionlarini joylashtirish uskunasi
Sanoat koʻp-ark ionlarini joylashtirish tizimi yuqori{2}}oqim, past kuchlanishli katodik yoy bugʻlanishi orqali zich, yuqori{1}}yopishqoq yupqa plyonkalarni hosil qiladi. Qattiq maqsadli...
ko'proq ko'rish
Koʻp-Ark ionli yupqa plyonka tizimi
Industrial Multi{0}}Arc Ion yupqa plyonka tizimi metall va qotishma substratlarga zich, yuqori-yopishuvchan keramika va metall qoplamalarni joylashtirish uchun katod yoy bug‘lanishidan...
ko'proq ko'rish
Koʻp-Ark ionli yupqa plyonka uskunalari
Ushbu ko'p{0}}ark ionli qoplama tizimi zich, yuqori yopishqoq{1}}qattiq qoplamalar va funktsional yupqa qatlamlarni joylashtirish uchun katodik yoy bug'lanishidan foydalanadi. Qattiq katodli...
ko'proq ko'rish

Texnik spetsifikatsiyalar

Parametr	Spetsifikatsiya diapazoni	Birlik / Eslatma
Palata o'lchamlari	F600 x 600 dan F1500 x 1800 gacha	mm (maxsus vertikal yoki gorizontal konfiguratsiyalar)
Yakuniy vakuum bosimi	<= 5.0 x 10^-4	Pa (Quruq nasos + Turbo{1}}molekulyar / Yog 'diffuziyasi to'plami)
Katod yoyi manbalari	4 dan 16 tagacha	Elektromagnit boshqariladigan yoki filtrlangan boshq manbalari (FCA)
Substratning egilish kuchi	0 dan -1000 gacha	V (Kengaytirilgan impulsli DC / MF egilish imkoniyatlari)
Isitish harorati	Xona harorati 600 gacha	C (PID boshqariladigan nurli isitgichlar)
Depozitning bir xilligi	<= +/- 5%	Samarali ish zonasi bo'ylab XRF orqali o'lchanadi
Boshqarish tizimi	PLC + sanoat kompyuteri	Avtomatlashtirilgan retsept bajarilishi, SCADA ma'lumotlar jurnali
Xavfsizlik va muvofiqlik	Idoralar, ISO 9001	UL{0}}mos keladigan elektr korpuslari so'rov bo'yicha mavjud

Koʻp-Ark ionlarini choʻktirish jarayoni

Jismoniy bug 'cho'kish ketma-ketligi to'plamning takrorlanishini-ta'minlash uchun qat'iy, yopiq-halqali avtomatlashtirilgan ish oqimida ishlaydi:

Evakuatsiya va gazni chiqarish:

Vakuum kamerasi asosiy bosimga qadar pompalanadi<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.

Plazma bilan ishlov berish (bombardimon qilish):

Argon gazi kiritiladi. Substrat ushlagichiga yuqori manfiy moyillik qo'llaniladi, bu Ar ionlarini hosil qiladi, ular sirtni mahalliy oksidlar va mikro{1}}ifloslantiruvchi moddalarni sochib yuboradi.

Arkning bug'lanishi va ionlanishi:

To'g'ridan-to'g'ri yoy oqimi qattiq metall katodga uriladi. Mahalliy katod nuqtasi haddan tashqari energiya zichligiga yetib, maqsadli materialni bir zumda yuqori-zichlikdagi plazma oqimiga (ionlanish darajasi > 80%) bug'laydi.

Reaktiv yotqizish:

Reaktiv gazlar plazma oqimiga aniq boshqariladigan qisman bosimlarda Mass Flow Controllers (MFC) orqali yuboriladi va aylanadigan substratlarda stokiometrik birikma plyonkalarni hosil qiladi.

Sovutish va shamollatish:

Nazorat ostida sovutish kamerani shamollatishdan oldin inert gaz himoyasi ostida sodir bo'lib, yangi qoplangan qismlarning oksidlanishini oldini oladi.

Film materiallari va qoplama xususiyatlari

Tizim bir qatlamli, koʻp qatlamli, nano-kompozit va gradient plyonka arxitekturasini taʼminlovchi koʻp-metall katodli tartiblarni qoʻllab-quvvatlaydi:

TiN (titan nitridi):

Standart oltin qoplama; qattiqlik 2200–2400 HV; ishqalanish koeffitsienti 0,4. Asosiy foydalanish: umumiy kesish asboblari va mexanik aşınma qismlari.

TiAlN (titan alyuminiy nitridi):

850 C gacha yuqori-harorat oksidlanishga chidamliligi; qattiqlik 3000–3300 HV. Asosiy foydalanish: yuqori-tezlikda quruq ishlov berish qo'shimchalari va dvigatel klapanlari.

CrN / CrAlN (xrom nitridi):

Zo'r korroziyaga chidamlilik va past ichki stress; rangli metallarga nisbatan-qo‘zg‘atishga qarshi xususiyatlar. Asosiy foydalanish: qoliplarni, piston halqalarini va to'qimachilik mashinalari qismlarini shakllantirish.

ZrN / TiCN:

Past sirt pürüzlülüğü (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.

Ilovalar

Nozik kesish asboblari:

Yuqori termal yuklar ostida asbobning ishlash muddatini uzaytirishni talab qiluvchi frezalar, matkaplar, plitalar va indekslanadigan qo'shimchalar.

Avtomobil quvvati:

Chegaraviy ishqalanish va ishqalanish qarshiligini kamaytirishni talab qiluvchi piston pinlari, musluklar, yonilg'i quyish qismlari va tishli yuzalar.

Qoliplar va qoliplar:

Plastik qarshi qoliplari, shtamplash qoliplari va-quyma qo'shimchalar yopishtiruvchi aşınma va termal charchoqqa chidamliligini talab qiladi.

Aerokosmik komponentlar:

Agressiv korroziy va yuqori-stressli muhitda ishlaydigan turbin pichoqlari va titanli mahkamlagichlar.

Moslashtirish va tizim konfiguratsiyasi

Katalogning standart buyumlari kamdan-kam hollarda maxsus zavod sxemalariga to'liq mos keladi. Uskuna konfiguratsiyasi muayyan komponent geometriyasi, aylanish vaqti maqsadlari va ob'ekt cheklovlari asosida moslashtirilgan:

Kamera geometriyasi:

Sakkiz burchakli yoki silindrsimon zanglamaydigan po'latdan yasalgan kameralar (SUS304/SUS316L) ikki-devorli suv{3}}sovutuvchi kurtkalarga ega.

Manba tartibi:

Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).

Substratni mahkamlash:

Murakkab 3D geometriyalarda bir xil qoplama qoplamini kafolatlash uchun magnit suyuqlik o'tkazgichlari orqali boshqariladigan sayyora aylanish (3-o'q) yoki bitta aylanish mexanizmlari.

Nasos stack imkoniyatlari:

Qattiq nasos{0}}pastga aylanish vaqtlariga mos ravishda sozlangan ildiz shamollatgichlar, aylanma qanotli nasoslar, kriogen nasoslar yoki turbomolekulyar nasoslar.

Sifat nazorati va sinov protokollari

Har bir mashina jo'natishdan oldin qat'iy zavodni qabul qilish sinovidan (FAT) o'tadi va xaridor ko'rib chiqishi uchun hujjatlashtirilgan:

Vakuum yaxlitligi testi:

Mass-spektrometriya yordamida geliy oqishini aniqlash (oqish tezligi<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).

Elektr xavfsizligi va kuyish-da:

Quvvat manbalarining 72 soatlik uzluksiz quruq ishlashi, suvni sovutish blokirovkalari va PLC avtomatlashtirish mantig'i.

Qoplamani tekshirish (-uy laboratoriyasida):

Namuna ishlari Calo-testi (plyonka qalinligi), Rokvell bo'g'inlari (yopishqoqlik kuchi) va nanoindentsiya (qattiqlik) orqali sinovdan o'tkazildi.

O'rnatish, ishga tushirish va texnik yordam

Saytni tayyorlash bo'yicha ko'rsatmalar:

Sovutish suvi oqimi/bosimi, siqilgan havo, egzoz ventilyatsiyasi va elektr shina talablari uchun kommunal sxemaning batafsil chizmalari.

SAT va ishga tushirish:

Saytda{0}}oʻrnatish (Saytni qabul qilish testi), vakuum kalibrlash va asosiy retseptni topshirish yuqori darajali PVD texnologik muhandislari tomonidan amalga oshiriladi.

Jarayonni o'rgatish:

Katodni almashtirish jadvali, profilaktik vakuumga texnik xizmat koʻrsatish, nosozliklarni bartaraf etish va asosiy retseptni optimallashtirish-operator boʻyicha amaliy mashgʻulotlar.

Ehtiyot qismlarni qo'llab-quvvatlash:

Kritik aşınma komponentlari (katodlar, qalqonlar, izolyatorlar va muhrlar) 48 soat ichida global jo'natish uchun saqlanadi.

Tez-tez so'raladigan savollar

Savol: Ko‘p-ark ionli qoplamaga xos bo‘lgan makrozarrachalarni (tomchilarni) qanday bostirasiz?

Javob: Biz katod nuqtalarini barqarorlashtirish va tomchilar emissiyasini kamaytirish uchun optimallashtirilgan yoy oqimi to'lqin shakllari bilan birlashtirilgan sozlanishi magnit rul maydonlaridan foydalanamiz. Ultra silliq optik yoki tibbiy ilovalar uchun-tizim Filtrlangan katod yoyi (FCA) manbalari bilan birlashtirilishi mumkin.

Savol: Maxsus kamera konfiguratsiyasi uchun odatiy aylanish vaqti qancha?

Javob: Standart konfiguratsiyalar 16-20 hafta ichida jo'natiladi. To'liq moslashtirilgan kamera o'lchamlari, avtomatlashtirilgan robotli yuklash interfeyslari yoki ixtisoslashtirilgan kriogen nasos tizimlari P&ID rasmini tasdiqlashdan keyin 24 dan 30 haftagacha vaqtni talab qiladi.

Savol: Tizim turli qismlar oilalari uchun bir nechta qoplama retseptlarini saqlashi mumkinmi?

Javob: Ha. Sanoat PLC boshqaruv tizimi 100 tagacha individual jarayon retseptlarini saqlaydi. Bu gaz massasi oqimi regulyatorlari (MFCs) ustidan bir teginish bilan avtomatlashtirilgan-bajarish imkonini beradi, kuchlanishning keskin ko‘tarilishi, yoy oqimi ketma-ketligi va muayyan qadam vaqtlari.

Biz{0}}Xitoydagi yetakchi multi-ionli yupqa plyonka uskunalari ishlab chiqaruvchilari va yetkazib beruvchilaridan biri sifatida tanilganmiz. Agar siz Xitoyda ishlab chiqarilgan moslashtirilgan multi{3}}ark ionli yupqa plyonkali uskunani xarid qilmoqchi bo'lsangiz, fabrikamizdan narxlar ro'yxatini olishga xush kelibsiz. Narxlar bo'yicha maslahat olish uchun biz bilan bog'laning.