Katodik yoyi yupqa plyonka uskunalari

Qattiq katod nishonlarini to'liq ionlashtirilgan plazmaga bug'lash uchun mahalliylashtirilgan past kuchlanishli, yuqori-elektr yoylaridan foydalanadigan jismoniy bug'larni joylashtirish (PVD) tizimi. Yuqori ionlanish darajasi (40%-80%) zich atomik{6}}darajadagi bog‘lanish va yuqori bosim kuchlanishini ta’minlaydi, bu esa yuqori tezlikdagi po‘lat (HSS), karbidli kesish asboblari, avtomobil qismlari va tibbiy asboblarga yuqori-esinishga chidamli va dekorativ qoplamalarni-qo‘yish imkonini beradi.

Yuqori ionlash samaradorligi:Plazmaning ionlanish darajasi 40%-80% ga etadi, bu esa plyonkaning-substratga yuqori darajada yopishishini ta'minlaydi.

Modulli katodlar:Tez{0}}oʻzgartirish maqsadli yigʻish texnik xizmat koʻrsatishning uzilish vaqtini kamaytiradi; planar va aylanadigan silindrsimon katodlar bilan mos keladi.

Yopiq{0}}Gaz nazorati:MKS massa oqimi regulyatorlari aralash plyonkalar (TiAlN, TiCN) uchun aniq reaktiv gazning qisman bosimini saqlaydi.

Ko'p-o'qli sayyora aylanishi:Moslashtirilgan aylanish va aylanish drayvlari murakkab 3D geometriyalarda qalinligi bir xilligini (± 5%) ta'minlaydi.

Ikkilik{0}rejimli ishlash:Koʻp qavatli arxitekturalar uchun doimiy toʻlqinli bugʻlanish va impulsli yoyli purkash integratsiyasini qoʻllab-quvvatlaydi-.

Qo'pol nasoslar:Atmosferadan 10 Pa tezlikka-pastga tez nasos uchun ildiz va aylanuvchi qanotli nasos birikmasi.

Yuqori vakuumli nasos:Uglevodorodlar{2}}bo'sh bazaviy bosimni ta'minlaydigan, magnit bilan ochilgan turbomolekulyar nasos (1600–3200 L/s).

Valflar va o'lchash asboblari:Pirani va sovuq katodli ionlash blokirovkalari bilan yuqori{0}}pnevmatik yuqori vakuumli vakuumli klapanlar, yog'ning orqa oqimining oldini olish uchun.

[Veb ishlab chiqaruvchi uchun vizual qo'llanma]:Turbomolekulyar nasos va pnevmatik eshik klapanining joylashishini ta'kidlab, vakuumli sanitariya-tesisat sxemasining sxematik yoki aniq fotosuratini joylashtiring.

Standart katod maqsadlari (tozalik 99,95% dan katta yoki unga teng)
O'tish metallari:Ti, Cr, Zr, Al, TiAl (50/50, 33/67 atom nisbatlari), CrAl, W, Nb, Si.

Qotishmalar va aralashmalar:Grafit (DLC interlayerlari uchun), zanglamaydigan po'lat.

Substrat mosligi va-oldindan ishlov berish
Materiallar:WC-Birgalikda kesish asboblari, qirqish asboblari, broshlar, shtamplash qoliplari, inyeksion qoliplar, titan qotishmalari (5-sinf) va zanglamaydigan po'lat.

Oldindan-davolash:Cho‘ktirishdan oldin kamera ichida ultratovushli erituvchi yog‘sizlantirish va{0}}in situ ion bombardimoni bilan tozalash (Ar⁺ plazma bilan ishlov berish).

Kesish va shakllantirish asboblari:TiN, TiAlN va AlCrN qoplamalari sirt qattiqligini 3000–3500 HV ga oshiradi, termal kraterlanishni va abraziv aşınmayı bostiradi.

Avtomobil komponentlari:Porshen halqalari, yonilg'i quyish pinlari va tishli mexanizm qismlari uchun-ishqalanishni kamaytiradigan qoplamalar.

Tibbiy implantlar:Ortopedik bo'g'inlarni almashtirish va jarrohlik vintlarida biomos keluvchi TiN va ZrN qattiq qoplamalar.

Dekorativ jihozlar:Reaktiv gazni sozlash orqali rang spektrini ishlab chiqarish (oltin guruch, pushti oltin, gunmetal qora, titan kulrang).

Kamera geometriyasi:Vertikal yuklash (chuqur-oʻrnatilgan yoki polga{1}}tik holda) yoki gorizontal old-yuklash konfiguratsiyasi.

Manba konfiguratsiyasi:Optik yoki aniq elektronika uchun makropartikullarni yo'q qilish uchun filtrlangan katod yoyi (FAC) magnit kanal manbalari.

Avtomatlashtirish:Robotik yuklash qo'llari, AGV docking integratsiyasi va MES ma'lumotlar jurnali protokollari.

Oqishni aniqlash:Barcha kameralar va payvand choklarida geliy massa spektrometrini tekshirish (1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s dan kam yoki unga teng).

Elektr xavfsizligi:Yuqori kuchlanishli{0}}izolyatsiyaga chidamlilik, topraklama uzluksizligi va PLC blokirovkasi funksional tekshiruvi.

Sinov muddati (FAT):72 -soatlik uzluksiz quruq{2}}ish sinovi va standart qoplama cho'ktirish sinovi Calo-test (qalinlik) va tirnash xususiyati tekshirgich (yopishqoqlik) orqali baholanadi.

Hujjatlar to'plami:Elektr sxemalari, P&ID diagrammalari, PLC manba kodlari, moddiy sertifikatlar va FAT hisobotlari.

Saytni tayyorlash:Batafsil sxema chizmalari, sovutish suvi ko'rsatkichlari va quvvat taqsimoti spetsifikatsiyalari jo'natilishdan 4 hafta oldin taqdim etilgan.

Ishga tushirish:Saytda{0}}mexanik yig'ish, vakuum kalibrlash va yuqori texnologik muhandislar tomonidan retseptlarni topshirish.

Trening:Uskunaga texnik xizmat koʻrsatish, vakuum bilan bogʻliq muammolarni bartaraf etish va xavfsizlik protokollari-boʻyicha koʻrsatmalar.

Qo'llab-quvvatlash:Mintaqaviy ehtiyot qismlar inventarlari bilan ta'minlangan{0}}vaqtdagi PLC nosozliklarini bartaraf etish uchun masofaviy diagnostika dasturlari integratsiyasi.