EBE-V600 seriyasi optik qismlar, yarimoʻtkazgich qurilmalar va ilgʻor materiallarni-aniq yupqa plyonka bilan qoplash uchun moʻljallangan-sanoat miqyosidagi jismoniy bugʻlarni joylashtirish (PVD) platformasi. Yuqori energiyali, magnit fokuslangan elektron nurni suv{6}}sovutilgan tigellar ichidagi manba materiallariga-yo'naltirish orqali tizim kamera devorlaridan issiqlik yuklarini izolyatsiya qilgan holda tez bug'lanish tezligiga erishadi.
Arxitektura koʻp qavatli dielektrik yoki metall qatlamlarda stoxiometrik plyonkaning aniqligi va doimiy qalinligi nazoratini taʼminlovchi koʻp-choʻntak elektron manbalari va ikki tomonlama kvarts kristalli mikrobalans (QCM) sensorlarini oʻz ichiga oladi.
Texnik spetsifikatsiyalar
|
Texnik parametr |
Spetsifikatsiya qiymati |
|
Kamera geometriyasi va materiallari |
PH600 mm x 600 mm silindrsimon idish; SS304 tashqi sovutish suvi ko'ylagi bilan elektropolislangan ichki qism |
|
Yakuniy bazaviy bosim |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (achieved via 12-hour bake-out and high-vacuum pumping) |
|
Tsikl vaqtini -pastlash |
<= 15 minutes (From atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa) |
|
Elektron qurol kuchi |
6 kVt dan 12 kVtgacha bo'lgan ko'p{2}}cho'ntak konfiguratsiyasi, nurning 270 daraja egilishi |
|
Tigelli o'choq quvvati |
4 dan 6 gacha cho'ntak (almashtiriladigan mis / grafit tigellar, har bir cho'ntak uchun 15 cc dan 40 cc hajmgacha) |
|
Substratning aylanish bosqichi |
0 dan 30 RPM o'zgaruvchan tezlikda sayyora yoki to'g'ridan-to'g'ri haydovchi |
|
Substratni isitish diapazoni |
PID yopiq halojenli lampalar majmuasi- orqali 600 darajagacha muhit |
|
Qalinligi monitoringi |
Avtomatik deklanşör geribildirim nazorati bilan ikki QCM sensorlar |
Asosiy xususiyatlar
270 daraja magnit burilish E-Toʻp:Volfram filamentini to'g'ridan-to'g'ri bug 'yo'llaridan ajratib turadi, bu qisqa tutashuvning oldini oladi-va texnik xizmat ko'rsatish oralig'ida ishlash muddatini uzaytiradi.
Raqamli tozalashni boshqarish:Dasturlashtiriladigan rastr naqshlari elektron energiyasini bug'lanish yuzasi bo'ylab bir xilda taqsimlaydi, bu esa qotishma cho'kishi paytida teshiklarning shakllanishini va imtiyozli bug'lanishni yumshatadi.
Ajratilgan vakuum arxitekturasi:Qo'pol va yuqori{0}}vakuumli nasos liniyalari plyonka o'sishi jarayonida mexanik tebranish o'tkazilishini bostirish uchun asosiy kamera ramkasidan tizimli ravishda ajratilgan.
Uskuna blokirovkasi xavfsizligi matritsasi:Sovutish suvi oqimi, yuqori{1}}kuchlanish, pnevmatik bosim va eshik muhrining yaxlitligi-vaqt PLC monitoringi.
Vakuum tizimining konfiguratsiyasi
Vakuum pastki sxemasi o'sayotgan plyonkalarda qoldiq gazlar (H2O, O2, N2) qo'shilishini minimallashtirish uchun tez aylanish va past tayanch bosim uchun mo'ljallangan:
Yuqori-Vakuum nasosi:1200 L/s turbo{1}}molekulyar nasos ikki bosqichli aylanma qanotli nasos (yoki toza xonaga muvofiqligi uchun quruq aylanish pompasi konfiguratsiyasi) bilan quvvatlanadi.
Izolyatsiya klapani:Yuk ko'tarish paytida kamerani izolyatsiya qiluvchi pnevmatik yuqori{0}}o'tkazuvchanlik valfi.
Vakuumni o'lchash:Atmosferadan 10^-6 Pa gacha bo'lgan uzluksiz diapazonni qamrab oluvchi birlashtirilgan Pirani va Sovuq Katodli ionlash o'lchagichlari.
Kino materiallari va substratlari
Mos keluvchi bug'lanish manbalari
Oksidlar va dielektriklar:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2
Sof metallar:Au, Ag, Al, Ti, Cr, Pt, Ni
Yarimo'tkazgichlar va o'tkazgichlar:Si, Ge, ITO (Indiy qalay oksidi)
Ilovalar
Optik shovqin filtrlari:Tor diapazonli filtrlar va lazer oynalari uchun-yuqori{0}}indeks va past-indeksli ko‘p qatlamli{2}}qatlamli yotqizish.
Yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarish:Ohmik kontakt shakllanishi, eshik oksidi cho'kishi va metall urug' qatlamlari.
OLED va displey tadqiqotlari:Yupqa metall katod cho'kishi va ko'p qatlamli organik/noorganik passivatsiya sinovlari.
Qattiq o'tga chidamli qoplamalar:Mexanik va aerokosmik qismlar uchun{0}}himoya kiyinishga chidamli qatlamlar.
Moslashtirish
Xonani kengaytirish:Klaster asboblarini birlashtirish uchun mo'ljallangan kengaytirilgan idish balandligi yoki to'rtburchaklar geometriyasi.
Manba integratsiyasi:Elektron nurli qurollar bilan birlashtirilgan bir vaqtda termal bug'lanish manbalari (rezistorli qayiqlar).
Ion-Assisted Deposition (IAD):Filmni zichlashtirish va stressni sozlash uchun oxirgi-Hall yoki Kaufman ion manbasining integratsiyasi.
Dasturiy ta'minot arxitekturasi:Siemens S7 yoki Beckhoff avtomatlashtirish tizimlariga mos keladigan PLC/HMI retsepti dasturlash.
Sifat nazorati
Mass-spektrometr geliy qochqinligini tekshirish:Har bir kamerali payvand integratsiyadan oldin < 1 x 10^-9 Pa·m3/s rad etish chegarasiga sinovdan o'tkaziladi.
Elektr mosligi:CE/UL koʻrsatmalariga muvofiq yuqori-kuchli dielektriklarga chidamlilik sinovlari va yerga ulashning uzluksizligini tekshirish.
Zavodni qabul qilish testi (FAT):72 -soatlik uzluksiz quruq-test jurnali asosiy bosim egri chiziqlari, e-nurni tozalashning takrorlanishi va blokirovkaga javob berish vaqtlari. Sinov hujjatlari qurilma bilan birga yuboriladi.
O'rnatish va texnik yordam
Saytni ishga tushirish:Zavodda{0}}sertifikatlangan muhandislar mexanik moslashtirish, vakuumda sizib chiqishini tekshirish, kommunal ulanish nazorati va dastlabki kalibrlash ishlarini boshqaradi.
Texnik tayyorgarlik:Filamentlarni almashtirish, vakuum klapanlarini qayta qurish va retseptlarni tahrirlashni o'z ichiga olgan 3-kunlik joyida ishlash va texnik xizmat ko'rsatish protokoli bo'yicha trening.
Taqdim etilgan hujjatlar:P&ID sxemalari, elektr simlari diagrammalari, PLC zaxira fayllari va ehtiyot qismlarni belgilashni o'z ichiga olgan to'liq texnik biriktirgichlar.
Tez-tez so'raladigan savollar
Savol: E-qurol volfram filamentining ishlash muddati qancha va unga qanday xizmat ko‘rsatiladi?
Javob: Standart ish bosimi ostida (<= 10^-4 Pa) and clean source materials, filament lifespan averages 30 to 50 operational hours. A quick-access vacuum flange allows cartridge exchange within 20 minutes without venting the entire manifold.
Savol: Tizim oksidi cho'kish paytida tupurishni qanday oldini oladi?
Javob: Raqamli tozalash generatori elektron energiyasini oksid pelletidagi hisoblangan rastr matritsasi bo'ylab taqsimlaydi. Bu mahalliy haddan tashqari qizib ketishni bartaraf qiladi, portlovchi qaynatishni oldini oladi va mikro-tomchilarning chiqishini bostiradi.
Savol: O'rnatish joyida qanday kommunal infratuzilmalar majburiydir?
A: Cooling Water: Supply pressure 0.25 MPa to 0.4 MPa, flow rate >= 30 L/min, harorat 18 darajadan 25 darajagacha.
Elektr tarmog'i: 3-faza, 380V ± 10%, 50/60 Gts (yoki zavod tomonidan mintaqaviy standartlarga moslashtirilgan).
Siqilgan havo: pnevmatik klapan aktuatorlari uchun 0,5 MPa dan 0,7 MPa gacha quruq havo.
Savol: Masofaviy diagnostikaga kirish boshqaruv tizimiga kiritilganmi?
Javob: Ha. Izolyatsiya qilingan Ethernet porti PLC jurnalini masofadan qidirish va muhandislik guruhimiz tomonidan dasturiy ta'minot muammolarini bartaraf etish uchun xavfsiz VPN ulanishini qo'llab-quvvatlaydi.
Issiq teglar: elektron nurli bug'lanish nozik kino uskunalari, Xitoy elektron nurli bug'lanish nozik kino uskunalari ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilari, zavodi
