IBAE tizimi elektron nurlar yoki termal bug'lanishni integratsiyalashgan keng nurli ion manbasi bilan-birlashtiradi. Plyonka o'sishi paytida bir vaqtning o'zida ion bombardimon qilish kinetik energiyani kondensatsiyalanuvchi adatomlarga o'tkazadi, ustunli mikro tuzilmalarni yo'q qiladi va minimal namlik bilan-yaxshiroq zichlikka yaqin{3}}zichlikdagi ingichka plyonkalarni hosil qiladi.
Texnik spetsifikatsiyalar
|
Parametr |
Spetsifikatsiya |
|
Asosiy bosim |
<= 5.0 x 10^(-5) Pa (achieved within 35 minutes) |
|
Ish bosimi |
1,0 x 10^(-1) dan 1,0 x 10^(-2) Pa gacha |
|
Ion manbai turi |
Gridless End-Hall / Kaufman Ion Source |
|
Ion nurlari energiyasi |
50 eV dan 1500 eV gacha (yopiq{2}}doira barqarorlashtirilgan) |
|
Ion nurlarining oqimi zichligi |
0 dan 2,5 mA/sm^2 gacha |
|
Bug'lanish manbalari |
Koʻp-choʻntakli E-toʻpli qurol (4 x 15 cc dan 6 x 40 cc gacha) / Qarshilik uchun qayiqlar |
|
Substrat ushlagichi |
300 ° S gacha isitiladigan sayyora aylanish moslamasi |
|
Qalinligi bir xilligi |
<= plus/minus 0.5 percent over 400 mm diameter |
|
Boshqarish tizimi |
Siemens S7-1500 PLC + Sanoat kompyuteri (Inficon depozit nazoratchisi) |
Asosiy xususiyatlar
Ikkilik{0}rejimli bombardimon:Kinetik energiyani uzatish past substrat haroratida plyonkalarni zichlashtiradi, nozik optika va polimer substratlarni himoya qiladi.
Yopiq{0}}Loop Ion Stabilizatsiyasi:Integratsiyalashgan massa oqimi regulyatorlari uzoq ishlab chiqarish jarayonida doimiy ion oqimini ushlab turadi, bu esa partiyaning mustahkamligini ta'minlaydi.
Modulli vakuum kamerasi:304L zanglamaydigan po'latdan yasalgan konstruktsiyali, elektro{1}}ichki jilo (Ra<= 0.2 um) and Conflat metal seals.
Avtomatlashtirilgan ketma-ketlik:PLC{0}}boshqariladigan nasos-pastga tushirish, cho‘ktirish va ventilyatsiya qilish davrlari ishdagi farqni minimallashtiradi.
Vakuum tizimining konfiguratsiyasi
Qo'pol nasoslar:Yog'siz quruq ildizlar-va aylanuvchi qanotli nasoslar.
Yuqori vakuumli nasos:Magnit levitatsiyalangan turbomolekulyar nasos (1600 L/s).
Ko'rsatkichlar:Kombinatsiyalangan Pirani, sovuq katod va Baratron sig'imli manometrlar.
Valflash:Uskuna xavfsizlik blokirovkalari bilan pnevmatik eshik va burchakli klapanlar.
Bug'lanish materiallari va substratning mosligi
Oksidlar:SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, Al2O3
Ftoridlar:MgF2, LaF3
Metallar:Au, Ag, Al, Ti, Cr
Substratlar:Eritilgan kremniy oksidi, BK7, kremniy gofretlari, germaniy, rux selenid (ZnSe) va issiqqa chidamli polimid-.
Ilovalar
Aniq optika:Barqaror markaz to'lqin uzunliklarini talab qiluvchi tor polosali filtrlar va DWDM qoplamalari.
Lazer optikasi:Yuqori{0}}zararli-reflektorlar va aks ettirishga qarshi-qoplamalar.
Yarimo'tkazgich va fotonik:Dielektrik himoya qatlamlari, passivatsiya va optik to'lqin o'tkazgichlar.
Quyosh energiyasi:Shaffof Supero'tkazuvchilar oksidi (TCO) interfeysi modifikatsiyasi.
Moslashtirish
Kamera o'lchami:600 mm dan 1200 mm gacha bo'lgan o'lchovli diametrlar.
Manba tartibi:Har bir platformada uchtagacha e-nurli qurol va bir nechta issiqlik manbalari.
-Situ metrologiyasida:Keng polosali optik monitoring (BOM) yoki kvarts kristalli mikrobalans (QCM) integratsiyasi.
Avtomatlashtirish:SEMI standartlariga mos keladigan robotli substratni yuklash interfeyslari.
Sifat nazorati
Oqishni aniqlash:Har bir kamera uchun geliy massa spektrometrini tekshirish (sezuvchanlik<= 1 x 10^(-10) Pa*m^3/s).
Komponent manbalari:Tier-1 sanoat brendlari (Inficon, MKS, Edwards, Siemens).
Zavodni qabul qilish (FAT):72 soatlik uzluksiz quruq yugurish va jo'natishdan oldin sinishi indeksini va bir xillikni o'lchaydigan tekshirish qoplamasi.
O'rnatish va texnik yordam
Hujjatlar:Elektr sxemalari, P&ID diagrammalari va PLC manba kodlarini o'z ichiga olgan to'liq ingliz to'plami.
Dala xizmatlari:Ilova muhandislari tomonidan kalitlarni o'rnatish, vakuumni kalibrlash va retseptlarni sozlash.
Masofaviy diagnostika:Dasturiy ta'minot va jarayondagi muammolarni bartaraf etish uchun xavfsiz VPN moduli.
TSS
Savol: Ion yordami oksidning sinishi indeksini qanday o'zgartiradi?
Javob: Energetik ion bombardimoni ushlangan qoldiq gazlarni chiqarib yuboradi va mikro tuzilmani zichlashtiradi, Ta2O5 va TiO2 kabi plyonkalarning sinishi indeksini ommaviy qiymatlarga yaqinlashtiradi.
Savol: Ion manbai uchun odatdagi parvarishlash oralig'i qanday?
Javob: Texnik xizmat ko'rsatish oralig'i texnologik gazlar va ish quvvati zichligiga qarab 150 dan 300 soatgacha ishlaydi.
Savol: Ushbu tizim reaktiv gaz jarayonlarini boshqara oladimi?
Javob: Ha. Mustaqil massa oqimi boshqaruvchilari reaktiv gazlarni (O2, N2) to'g'ridan-to'g'ri ion manbai va kamera zonalariga, xavfsizlik bosimi kalitlari bilan o'zaro bog'langan holda AOK qiladi.
Issiq teglar: Ion nurli bug'lanish uskunasi, Xitoyning ion nurli bug'lanish uskunalari ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilari, zavodi
