Koʻp-Ark ionli yupqa plyonka tizimi

Industrial Multi{0}}Arc Ion yupqa plyonka tizimi metall va qotishma substratlarga zich, yuqori-yopishuvchan keramika va metall qoplamalarni joylashtirish uchun katod yoy bug‘lanishidan foydalanadi. Qattiq katodli materiallarni vakuum muhitida yuqori{3}}oqimli, past kuchlanishli elektr yoylari orqali bug'lash orqali tizim reaktiv gazlar (azot, asetilen yoki kislorod kabi) bilan o'zaro ta'sir qiluvchi metall bug'ini ionlashtiradi va stexiometrik birikma plyonkalarini hosil qiladi.

Uzluksiz ishlab chiqarish muhiti uchun ishlab chiqilgan ushbu platforma nozik kesish asboblari, avtomobil komponentlari va eskirishga chidamli sanoat uskunalari-ni partiyaviy qayta ishlash uchun maxsus asboblar moslamalarini o‘z ichiga oladi.

Magnit-Rul yoyi katodlari:Yopiq{0}}panali magnit maydonlar katod yoyi nuqta traektoriyasini maqsadli sirt bo‘ylab boshqarib, maqsaddan foydalanish tezligini 60% dan oshadi va makro-tomchilar hosil bo‘lishini kamaytiradi.

Tez yoyni bostirish moyilligi:Yuqori-chastotali impulsli yoʻnalish manbalari reaktiv choʻkish vaqtida mahalliylashtirilgan mikroyoylarning substrat yuzasiga zarar yetkazishining oldini olish uchun-tezkor kamon oʻchirish sxemalarini oʻz ichiga oladi.

Ikkilik-rejim joylashtirish arxitekturasi:Tizim arxitekturasi gibrid qatlamlarni yotqizish uchun standart yoy manbalari (masalan, gradient qatlamlari) bilan bir qatorda muvozanatsiz magnetronli püskürtme (UMS) katodlarining tezkor integratsiyasini qo'llab-quvvatlaydi.

Avtomatlashtirilgan jarayonni boshqarish:PLC sanoat kompyuterida ishlaydigan retsept{0}}ga asoslangan boshqaruv dasturi, kamera bosimi, gaz massasi oqimi tezligini (MFC), substratning egilishi va yoy oqimini real vaqt rejimida kuzatib borish uchun to'plamni kuzatish uchun ulangan.

Pnevmatik vakuumli klapan:Pnevmatik qo'zg'aluvchan eshik vanalari va burchakli klapanlar kamera qismlarini ajratib turadi, bu esa texnik xizmat ko'rsatishning to'xtab qolish vaqtini va nasos{0}}pastlash davrlarini minimallashtiradi.

Tizim evakuatsiyasi 15 daqiqa ichida ish bosimiga erishish uchun moʻljallangan koʻp bosqichli konfiguratsiyadan-foydalanadi:

Qo'pol ishlov berish bosqichi:Ikki bosqichli aylanuvchi qanotli mexanik nasoslar birlamchi atmosfera havosini 10 Pa gacha olib tashlaydi.

O'rta bosqich:Roots puflagichlari o'zaro faoliyat bosim oralig'ini ko'prik qilish uchun hajmli joy almashishni tezlashtiradi.

Yuqori vakuum bosqichi:Yog 'diffuziya nasoslari yoki kriogen/molekulyar nasoslar gazni to'ldirish va ionlarni tozalashdan oldin 5,0 x 10^-3 Pa yakuniy bazaviy bosimga erishadi.

Gaz yetkazib berish quyi tizimi:Toʻliq oʻlchovda +/{7}}% oqim barqarorligi tolerantligi bilan-koʻp kanalli Mass Flow Controllers (MFC) oʻlchagich yuqori-toza texnologik gazlar (Ar, N2, C2H2, O2).

Katod maqsadlari
Metall maqsadlar:Ti, Cr, Al, Zr, TiAl (50/50, 67/33 atom nisbati), WC, zanglamaydigan po'lat.

Tozalik standarti:>= 99.99% vakuum erigan va oʻralgan.

Substrat materiallari
Asbob po'latlari:H13, SKD11, M2, D2 (oldindan ishlov berish va qoplanish haroratidan pastroq ishlov berish).

Karbidlar:Tsementlangan volfram karbidlari (WC-Co).

Muhandislik qotishmalari:Titan qotishmalari (TC4), zanglamaydigan po'lat (304/316) va mis qotishmalari (fiksatorga bog'liq).

Nozik kesish asboblari:TiAlN va AlCrN qoplamalarining sementlangan volfram karbidli frezalari va plitalariga cho'kishi sirt qattiqligi 3300 - 3500 HV ga etadi. Dala tekshiruvi maʼlumotlari yuqori tezlikda quruq ishlov berish sharoitida asboblarning eskirish muddatini -2,5 baravar oshirishni koʻrsatadi.

Qoliplar va qoliplar:H13 va SKD11 plastik qarshi qoliplarining sirtini qattiqlashtirish va termal charchoqni, yopishtiruvchi aşınmayı va gallashni oldini olish uchun shtamplash qoliplari.

Avtomobil komponentlari:Chegaradagi ishqalanish koeffitsientlarini 0,1 dan pastga tushirish uchun piston halqalari, yonilg'i injektori pinlari va valf ko'targichlariga past-ishqalanishga, aşınmaya-bardoshli DLC (Olmos-Uglerod kabi) va CrN qoplamalari qo'llaniladi.

Funktsional apparat:Sanoat sanitariya moslamalari va yuqori sifatli-mexanik komponentlar uchun dekorativ, ammo aşınmaya bardoshli qoplamalar (TiCN, ZrN).

Muhandislik konfiguratsiyasi ob'ekt cheklovlari va komponentlar geometriyasiga moslashadi:

Kamera geometriyasi:Vertikal chuqur-turi yuklash yoki gorizontal old-yuklash eshigi konfiguratsiyasi.

Jigglash moslamalari:Murakkab 3D ish qismi geometriyalariga moslashtirilgan sayyoraviy, bir-aylanuvchi yoki moslashtirilgan sunʼiy yoʻldosh qurilmalari.

Nasos to'plamini tanlash:Yog 'diffuziyasi, turbomolekulyar yoki kriyopompa paketlari uchun konfiguratsiya opsiyalari toza xona standartlari va nasos{0}}bo'sh vaqt maqsadlariga qarab.

Gaz va quvvat integratsiyasi:Mintaqaviy tarmoq standartlari uchun moslashtirilgan elektr transformatorlari (masalan, 480V/60Hz, 415V/50Hz) va mijoz tomonidan markazlashtirilgan egzoz tozalash tizimlari bilan integratsiya{6}}.

Har bir joylashtirish tizimi jo'natilishdan oldin qat'iy sifat tekshiruvidan o'tadi:

Geliy oqishini aniqlash:Mass-spektrometrda geliy qochqinligini tekshirish barcha vakuum kameralari va payvandlash choklarida (oqish tezligi)<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Elektr xavfsizligini tekshirish:Izolyatsiya qarshiligi, topraklama uzluksizligi va CE/IEC elektr standartlariga mos-yuqori kuchlanishli dielektriklarga chidamlilik sinovlari.

Funktsional quruq yugurish:Mexanik aylanish mexanizmlari, pnevmatik klapanlar va sovutish suvi blokirovkasi sensorlarining 72 soatlik uzluksiz quruq aylanishi.

Jarayonni qabul qilish testi:Plyonka qalinligining bir xilligi, qattiqligi va yopishqoqligini tekshirish uchun ishlab chiqarish korxonasida bajarilgan qoplama namunasi (Scratch testi / Rockwell indentation).

Saytni tayyorlash bo'yicha ko'rsatmalar:Zaminni yuklash talablari, egzoz kanallarining joylashuvi, suv manifoldu o'lchamlari va jo'natilishdan 4 hafta oldin etkazib beriladigan elektr tushish nuqtalari batafsil tavsiflangan ob'ektni joylashtirish bo'yicha keng qamrovli hujjatlar.

Ishga tushirish:Saytda{0}}oʻrnatish, vakuum kalibrlash va elektr bogʻlash-dala xizmati muhandislari tomonidan bajariladi.

Retseptni topshirish jarayoni:Asosiy qoplama retseptlari (TiN, TiAlN) ishlab chiqilgan, sinovdan o'tgan va zavodni qabul qilish yoki ishga tushirish vaqtida-o'tkazilgan.

Ehtiyot qismlar va diagnostika:Masofaviy diagnostika moduli PLC-ga tezkor muammolarni bartaraf etish uchun integratsiyalangan, mahalliy muhim muhrlar, katod nishonlari va ekranlash plitalari bilan qo'llab-quvvatlanadi.